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氧化硅制备方法专利登记公告


专利名称:氧化硅制备方法

摘要:一种氧化硅制备方法,其包括以下步骤:提供一具有清洁抛光面的硅衬底;提供一注有电解液的阳极氧化槽;提供一铂片置于阳极氧化槽内电解液中作为阴极电极;将上述硅衬底置于阳极氧化槽内电解液中作为阳极电极,硅衬底的抛光面与阴极电极相对;以直流电源连接两电极,并以紫外线照射阳极氧化槽内的电解液反应预定时间;将硅衬底取出进行清洗、干燥、冷却后制得成品。

专利类型:发明专利

专利号:CN200410091899.9

专利申请(专利权)人:鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

专利发明(设计)人:廖伟见;李欣和

主权项:1.一种氧化硅制备方法,其包括以下步骤:提供一具有清洁抛光面的硅衬底;提供一注有电解液的阳极氧化槽;提供一铂片置于阳极氧化槽内电解液中作为阴极电极;将上述硅衬底置于阳极氧化槽内电解液中作为阳极电极,硅衬底的抛光面与阴极电极相对;以直流电源连接两电极,并以紫外线照射阳极氧化槽内的电解液反应预定时间;将硅衬底取出进行清洗、干燥、冷却后制得成品。

专利地区:广东