陶瓷加热器专利登记公告

专利名称：陶瓷加热器

摘要：本发明的目的是提供这样的陶瓷加热器，它具有高导热性，能使加热器板的表面温度迅速跟上加热元件的温度变化，从而高效率地控制对晶片加热的表面的温度，而且能够成功地阻止杂质从陶瓷加热器热扩散进入晶片。本发明提供这样的陶瓷加热器，它包括氮化物陶瓷基材和位于该基材表面上或其内部的加热元件；其中所述的氮化物陶瓷板含有氮化物陶瓷的组成元素以外的元素，其对工作加热的表面具有JIS B 0601表面粗糙度Rmax=0.2－200微米。

专利类型：发明专利

专利号：CN00801651.8

专利申请（专利权）人：IBIDEN股份有限公司

专利发明（设计）人：伊藤康隆;平松靖二

主权项：权利要求书1．一种陶瓷加热器，它包括陶瓷基材和位于该基材表面上或其内部的加热元件；其中加热表面具有JIS B0601表面粗糙度Rmax=0.05-200微米。

专利地区：日本