带有预测化合物半导体合成裂管实时监控装置的合成炉专利登记公告

专利名称：带有预测化合物半导体合成裂管实时监控装置的合成炉

摘要：本实用新型公开了一种带有预测化合物半导体合成裂管实时监控装置的合成炉。实时监控装置有控温热电偶、二只欧陆表、可控硅、监视热电偶、计算机和报警器组成。一只欧陆表根据计算机控制软件设定的控温程序通过可控硅控制炉体温度。另一只欧陆表将测得的监视热电偶的温度信号馈入计算机控制软件，并做实时记录和在设定的报警温度点由报警器作声光报警。本实用新型的最大优点是避免了合成过程中石英管的爆裂，从而避免了合成设备的损坏、原材料的损失及环境的污染。通过实时监控装置预测的结果还可以指导以后合成工艺的改进。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN02260417.0

专利申请（专利权）人：中国科学院上海技术物理研究所

专利发明（设计）人：方维政;刘从峰;魏彦峰;涂步华;杨建荣

主权项：1.一种带有预测化合物半导体合成裂管实时监控装置的合成炉，包括：炉体(1)、炉体内腔置有装有准备合成的半导体原料(10)的石英管(2)，其特征在于：a.炉体外壁固定有控温热电偶(3)，控温热电偶(3)经欧陆表(4)与计算机(6)连接，炉体加热电缆(101)通过可控硅(5)与欧陆表(4)连接；b.监视热电偶(7)置在炉体内腔与石英管(2)间隙处，并处在炉体内腔中部，即温度最高位置处，监视热电偶(7)输出信号与欧陆表(8)相连，欧陆表(8)输出信号与计算机(6)连接；c.欧陆表(8)将测得的监视热电偶(7)的

专利地区：上海