薄膜小型空心管式固体电解质CO₂传感器专利登记公告

专利名称：薄膜小型空心管式固体电解质CO₂传感器

摘要：本实用新型属于气体敏感元器件领域，涉及一种薄膜小型空心管式固体电解质CO₂传感器。由Al₂O₃空心管式衬底(1)、NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO₃-Li₂CO₃辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，环形加热丝内置于Al₂O₃空心管中。本实用新型把Al₂O₃管式衬底引入到固体电解质传感器的制作中，利用NASICON的原溶胶溶液采用反复提拉法在管式衬底上制备出一层NASICON薄膜，再依次制备出网状金电极、信号铂(Pt)电极、二元碳酸盐BaCO₃-Li₂CO₃辅助电极。该传感器具有制作简单、加热效果好、功耗低、体积小等优点。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN02281255.5

专利申请（专利权）人：吉林大学

专利发明（设计）人：邱法斌;朱棋锋;全宇军;徐宝琨

主权项：1、一种薄膜小型空心管式固体电解质CO2传感器，由NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3-Li2CO3辅助电极(5)、环形加热丝(2)组成，其特征在于：传感器还包括有Al2O3空心管式衬底(1)，NASICON薄膜(4)、网状Au电极(3)、信号Pt电极(6)、二元碳酸盐BaCO3-Li2CO3辅助电极(5)依次在Al2O3空心管式衬底(1)上制作，环形加热丝(2)内置于Al2O3空心管式衬底(1)中，Al2O3空心管式衬底尺寸为φ1.0～1.5mm×3.5

专利地区：吉林