一种位移工作台专利登记公告

专利名称：一种位移工作台

摘要：本实用新型公开了一种位移工作台，由粗定位工作台(2)和细定位工作台(1)组成，细定位工作台的基座固定在粗定位工作台上。粗定位工作台由电机(11)、(12)驱动，细定位工作台由压电微位移器(15)、(16)驱动。在整个工作台的移动过程中，两个方向的位移量由正交衍射光栅尺(5)给出。工作台的特点是①采用闭环系统，工作台的定位速度快，采用粗定位和细定位相结合的方法，定位精度高。②工作台X、Y向移动均贴着一公共平面基准运动，使用工作台进行加工与测量时，具有确定的平面基准。③采用平面正交衍射光栅作为计量标准器，可显著减少阿贝尔误差，工作范围大，且较容易获得超精密级的分辨率。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN02284196.2

专利申请（专利权）人：华中科技大学

专利发明（设计）人：王选择;郭军;曾文涵;谢铁邦

主权项：1.一种位移工作台，包括粗定位工作台、细定位工作台、位置检测装置和信号处理与控制电路，其特征在于：所述粗定位工作台包括位于粗定位X向滚动导轨(15)中间的粗定位X向工作台(2)，与位于粗定位Y向滚动导轨(4)中间的粗定位Y向工作台(3)，并且两部分为内外两层分布；粗定位X向工作台(2)底部紧贴在运动基准A上，由粗定位X向驱动电机(12)、第一螺母螺杆机构(14)驱动，粗定位Y向工作台(3)由粗定位Y向驱动电机(11)和第二螺母螺杆机构(13)驱动；所述细定位工作台包括细定位X向工作台(21)和位于其外层的

专利地区：湖北