光学检验方法专利登记公告

专利名称：光学检验方法

摘要：一种光学检验方法，该方法不仅用于获得在规则反射表面上具有低的规则反射率的图像，还用于获得清楚地看见其上的在规则反射表面附近的周围的晶格面的周围的图像，使用所获取的图像，以及改善要被测量的目标图像的精确度。所述光学检验方法在其上形成3D图像的目标对象上投射晶格图案，将由目标对象的形状修改的光学信号与参考图案进行比较，并根据比较结果确定在目标对象中是否存在缺陷。

专利类型：发明专利

专利号：CN200780100955.2

专利申请（专利权）人：英泰克普拉斯有限公司

专利发明（设计）人：林双根;李相允;姜珉求;张锡俊

主权项：一种光学检验方法，该方法在目标对象上投射晶格图案，将由目标对象的形状修改的光学信号与参考图案进行比较，并根据比较结果确定在所述目标对象中是否存在缺陷，其中3D图像在所述目标对象上被形成，所述方法包括：通过调整照明值以降低所述目标对象的3D表面的规则反射率从而使得降低后的规则反射率减少饱和区域，来获得第一图像；通过调整照明值以在所述目标对象的3D表面的周围区域上清楚地形成晶格图案来获得第二图像；将所述第一图像和所述第二图像进行混合；以及通过分析所述第一图像和所述第二图像的混合图像来确定在所述目标对象中是否存

专利地区：韩国