基板保持环专利登记公告

专利名称：基板保持环

摘要：俯视图与仰视图对称，左视图逆时针旋转90度与仰视图相同，右视图顺时针旋转90度与仰视图相同，故省略俯视图、左视图和右视图。

专利类型：外观专利

专利号：CN200830118813.6

专利申请（专利权）人：株式会社荏原制作所

专利发明（设计）人：户川哲二;並木计介;安田穗积;锅谷治;福岛诚

主权项：

专利地区：日本

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