干涉仪促动器专利登记公告

专利名称：干涉仪促动器

摘要：本发明涉及干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体的移动。根据本发明的系统包括至少两个干涉仪促动器，所述干涉仪促动器能够被独立操作，从而使得至少两个促动器能够移动干涉仪的至少一个可动装置。当激励至少两个干涉仪促动器中的至少一个时，干涉仪的至少一个可动装置以矫正诸如倾斜的情况的最低需要移动。在优选配置中，根据本发明的系统和方法包括三个能够被独立操作的干涉仪促动器。

专利类型：发明专利

专利号：CN200880020745.7

专利申请（专利权）人：克莫麦特公司

专利发明（设计）人：波库·昂费达盛

主权项：一种用于干涉仪的至少一个可动装置相对于干涉仪主体移动的方法，包括：布置至少两个干涉仪促动器，其中所述至少两个干涉仪促动器能够被独立地操作，从而使得至少两个促动器能够移动干涉仪的至少一个可动装置；激励至少两个干涉仪促动器中的至少一个，从而移动干涉仪的至少一个可动装置。

专利地区：丹麦