压力传感器、包括压力传感器的传感器探头、包括传感器探头的医疗设备、以及制造传感器探头的方法专利登记公告

专利名称：压力传感器、包括压力传感器的传感器探头、包括传感器探头的医疗设备、以及制造传感器探头的方法

摘要：本发明涉及一种包括响应压力而可变形的柔性膜的压力传感器，该压力传感器覆盖腔(2)并且包括用于产生与柔性膜的变形相对应的信号的应变仪(21)，其中柔性膜是柔性单片集成电路箔(10)。按照这种方式，半导体集成电路本身用作柔性膜，这导致不太复杂的制造处理。

专利类型：发明专利

专利号：CN200880105049.6

专利申请（专利权）人：皇家飞利浦电子股份有限公司;荷兰应用自然科学研究组织

专利发明（设计）人：R·德克;F·范德格拉夫;J·F·M·维尔图伊斯;J·R·哈特森

主权项：一种包括响应压力而可变形的柔性膜的压力传感器，该压力传感器覆盖腔(2)并且包括应变仪(21)，该应变仪(21)产生与该柔性膜的变形相对应的信号，其中该柔性膜是柔性单片集成电路箔(10)。

专利地区：荷兰