控制带电粒子束的技术专利登记公告

专利名称：控制带电粒子束的技术

摘要：本发明揭示了一种控制带电粒子束的技术。在一特定示范性实施例中，此技术可实现成带电粒子加速/减速系统。此带电粒子加速/减速系统可包括加速柱体。此加速柱体可包括具有孔径的多个电极，其中带电粒子束可穿过此孔径。带电粒子加速/减速系统还可包括电性耦接到多个电极的多个电阻器。带电粒子加速/减速系统还可包括电性耦接到多个电极以及多个电阻器的多个开关，多个开关中的每一个可构造成分别选择性接通多个操作模式。

专利类型：发明专利

专利号：CN200880109201.8

专利申请（专利权）人：瓦里安半导体设备公司

专利发明（设计）人：皮尔·R·卢比克;拉塞尔·J·罗;约瑟·C·欧尔森;安东尼·雷诺

主权项：一种带电粒子加速/减速系统，包括：加速柱体，所述加速柱体包括具有孔径的多个电极，带电粒子束可穿过所述孔径；多个电阻器，电耦接到多个电极；以及多个开关，电耦接到所述多个电极以及所述多个电阻器，所述多个开关中的每一个均构造成在多个操作模式中各自选择性开关。

专利地区：美国