可动元件和处理台专利登记公告

专利名称：可动元件和处理台

摘要：一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。

专利类型：发明专利

专利号：CN200880109962.3

专利申请（专利权）人：株式会社爱发科

专利发明（设计）人：井上祐也;田中寿人;谷藤保

主权项：一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。

专利地区：日本

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