改进的碳化硅颗粒及其制造方法和使用方法专利登记公告
专利名称：改进的碳化硅颗粒及其制造方法和使用方法
摘要：改进的碳化硅颗粒、改进的碳化硅磨料颗粒、以及用于化学机械平面化(CMP)方法的磨料浆料组合物，这些颗粒可以包括纳米碳化硅颗粒，特别是具有与硅石相似的表面化学性的碳化硅颗粒。
专利类型：发明专利
专利号：CN200880110145.X
专利申请（专利权）人：圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司
专利发明（设计）人：A·K·巴克希;I·K·切瑞恩
主权项：包括碳化硅的纳米颗粒。
专利地区：美国
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