用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法专利登记公告

专利名称：用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法

摘要：用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法，其步骤为：首先在750～800℃沉积温度下在容器内的沉积位置处放入基片；用真空泵将容器中的空气抽出，使容器内达到高真空，即1-7～10-8Pa的真空状态；向容器内通入惰性保护气体，用质量流量计控制惰性保护气体的流量为70～80mL/s；向容器内通入还原气体，用质量流量计控制气体流量为70～80mL/s；然后向容器内通入烃类混合气体，用质量流量计控制气体流量为50～80mL/s；将容器加热，加热到900～1000℃时进行保温，时间持续1～2小时，混合烃类气体的还

专利类型：发明专利

专利号：CN200910021718.8

专利申请（专利权）人：兰州理工大学

专利发明（设计）人：孔令斌;孙林林;康龙

主权项：用于超级电容器电极的多孔碳薄膜材料的制备方法，采用化学气相沉积法，通过裂解源烃类气体的还原反应，在基底上沉积出多孔碳薄膜材料，其步骤为：(1)首先在750～800℃沉积温度下在容器内的沉积位置处放入基片；(2)用真空泵将容器中的空气抽出，使容器内达到高真空，即10-7～10-8Pa的真空状态；(3)向容器内通入惰性保护气体，用质量流量计控制惰性保护气体的流量为70～80mL/s；(4)向容器内通入还原气体，用质量流量计控制气体流量为70～80mL/s；(5)然后向容器内通入烃类混合气体，用质量流量计控制气

专利地区：甘肃