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子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法专利登记公告


专利名称:子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法

摘要:子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法,大口径非球面光学元件已成为起支撑作用的关键部件,与球面相比,非球面在矫正像差方面有更好的优势,本方法,其组成包括:花岗岩基座(1),所述的基座(1)连接水平平台(2)和垂直平台(3),所述的两个平台连接在空气装置(4)上,所述的水平平台内有一狭槽连接了一个空气轴承杆(5),所述的空气轴承杆连接发动机和编码器,所述的空气轴承杆连接空气轴承(6),连接干涉仪(7),所述的干涉仪机架连接升降平台(8),所述的升降平台连接垂直平台(9),所述的升降平台内有陶瓷管(

专利类型:发明专利

专利号:CN200910072626.2

专利申请(专利权)人:哈尔滨理工大学

专利发明(设计)人:乔玉晶

主权项:一种子孔径拼接干涉测量非球面偏置误差修正与拼接新方法,其组成包括:花岗岩基座,其特征是:所述的花岗岩基座连接水平平台和垂直平台,所述的水平平台和垂直平台连接在空气装置上,所述的水平平台内有一狭槽,所述的狭槽中连接了一个空气轴承杆,所述的空气轴承杆连接发动机和编码器,所述的空气轴承杆连接空气轴承,所述的空气轴承连接干涉仪,所述的干涉仪机架连接升降平台(Z平台),所述的升降平台用三个扁平的空气轴承连接在垂直平台上,所述的升降平台内有陶瓷管,所述的陶瓷管连接两个空气轴承,抑制平移和旋转相对于水平平台的移动。

专利地区:黑龙江