一种用碳纳米管与石墨烯形成碳复合结构体的方法专利登记公告
专利名称:一种用碳纳米管与石墨烯形成碳复合结构体的方法
摘要:本发明涉及一种用碳纳米管与石墨烯形成碳复合结构体的方法,包括以下步骤:在清洗干净的衬底上,顺序镀铝膜和铁膜;将处理好的衬底放入常规化学气相沉积装置中,沉积生长碳纳米管阵列,其中碳纳米管阵列高度在10-300微米,碳管直径在10-20nm,密度为1010-1011cm-2;取一块石墨基片,将石墨基片背面固定到一个平面上,解理出平整上表面;将制备得到的多壁碳纳米管阵列,倒扣在平整石墨表面上,碳纳米管阵列上表面与石墨表面接触,按压两者,沿平行石墨表面方向拖拽硅衬底,拖拽5-10cm距离后,沿垂直石墨表面方向拿起
专利类型:发明专利
专利号:CN200910078292.X
专利申请(专利权)人:国家纳米科学中心
专利发明(设计)人:周海青;邱彩玉;郑凯泓;刘政;孙连峰
主权项:一种用碳纳米管与石墨烯形成碳复合结构体的方法,包括以下步骤:1).准备衬底并做镀膜处理:选择清洗干净的表面平整的衬底,采用镀膜工艺在衬底上,顺序镀上8-12nm厚的铝膜和0.8-3nm厚的铁膜;2).将步骤1)处理好的衬底放入常规化学气相沉积装置中,采用常规化学气相沉积工艺生长多壁碳纳米管阵列,其中碳纳米管阵列高度在10-300微米,碳管直径在10-20nm,密度为1010-1011cm-2;3).处理石墨材料:取一块高定向热解石墨或天然石墨,将石墨背面固定到一个平面上,并解理出平整上表面,再去掉平整表面
专利地区:北京
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