设置有交换桥的光刻设备专利登记公告

专利名称：设置有交换桥的光刻设备

摘要：本发明提供一种设置有交换桥的光刻设备，包括两个平台，它们中的每一个配置用以保持衬底，其中每个平台设置有用以移动具有衬底的台的短行程模块和用以移动所述平台的短行程模块的长行程模块。光刻设备包括用以耦合平台的交换桥，和其中，在使用时，在第一配置中，所述平台相对于彼此是可移动的，和其中，在使用时，在第二配置中，所述平台通过交换桥被耦合以进行联合移动。

专利类型：发明专利

专利号：CN200910225259.5

专利申请（专利权）人：ASML荷兰有限公司

专利发明（设计）人：M·克鲁兹卡;F·奥尔;F·M·贾克布斯;R·H·A·亨森

主权项：一种光刻设备，包括：第一和第二平台，所述第一和第二平台中的每一个配置用以保持衬底，所述第一和第二平台中的每一个设置有短行程模块和配置用以移动所述平台的所述短行程模块的长行程模块；交换桥，所述交换桥配置用以耦合所述第一和所述第二平台，其中，在使用时，在第一配置中，所述第一和第二平台相对于彼此是可移动的，和其中，在第二配置中，所述第一和第二平台通过所述交换桥被耦合，用于联合移动；桥保持件，所述桥保持件配置用以在第一配置中保持所述交换桥，其中所述桥保持件与所述第一和第二平台的所述短行程模块的可移动部分是动态隔离

专利地区：荷兰