用于等离子体腔室的电极的多相射频电源专利登记公告

专利名称：用于等离子体腔室的电极的多相射频电源

摘要：以不同的相位偏移将射频电源耦合至等离子体腔室的电极(20-26)上的不同射频连接点(31-34)。优选地，不同的射频连接点的数量和相应的相位偏移的数量是至少四个，而且射频连接点的位置分布在电极的两个正交维度(例如，X和Y轴)。优选地，由各自的射频电源供应器(41-44)给每一各自的射频连接点提供功率，其中每个电源供应器使其相位与一共同基准射频振荡器(70)同步化。

专利类型：发明专利

专利号：CN200980103411.0

专利申请（专利权）人：应用材料股份有限公司

专利发明（设计）人：约翰·M·怀特;布拉德利·O·斯廷森

主权项：一种用以将射频电源耦合至等离子体腔室的设备，包括：一等离子体腔室，其包含一电极，其中该电极包括多个射频连接点；和多个射频电源供应器，其包括一第一射频电源供应器，其中每一各自的射频电源供应器具有一输出，该输出连接到各自的一个射频连接点；其中，该第一射频电源供应器在其输出产生一第一射频电源信号；和其中除了该第一射频电源供应器之外，每一各自的射频电源供应器在其各自的输出产生一各自的射频电源信号，该射频电源信号具有与所述第一射频电源信号相同的频率和相对于该第一射频电源信号不同的非零相位偏移。

专利地区：美国