线锯工件支撑装置、支撑间隔件及其使用方法专利登记公告

专利名称：线锯工件支撑装置、支撑间隔件及其使用方法

摘要：线锯工件支撑装置(200)具有支撑表面(214、314)，支撑表面适合于在锯切期间支撑正在被线锯(1)进行锯切的工件(100)，支撑表面(214、314)限定支撑平面。线锯工件支撑装置包括：实体支撑体(210)；以及至少一个线接收体积(220、230)，其用于在锯切期间容纳线锯(1)的线(10)，至少一个线接收体积(220、230)具有由支撑平面限界的工件侧和由实体支撑体(210)的表面部分(224)限界的基底侧，其中，至少一个线接收体积(220、230)沿着与支撑平面正交的方向在工件侧和基底侧之间具有至

专利类型：发明专利

专利号：CN200980161518.0

专利申请（专利权）人：应用材料公司

专利发明（设计）人：法布里斯·库斯蒂尔;弗雷德里克·伦巴第·德·巴菲尔斯;纪尧姆·麦卡

主权项：一种线锯工件支撑装置(200)，其具有支撑表面(214、314)，所述支撑表面适合于在锯切期间支撑正在被线锯(1)进行锯切的工件(100)，所述支撑表面(214、314)限定支撑平面，所述线锯工件支撑装置包括：实体支撑体(210)；以及至少一个线接收体积(220、230)，其用于在锯切期间容纳所述线锯(1)的线(10)，所述至少一个线接收体积(220、230)具有由所述支撑平面限界的工件侧和由所述实体支撑体(210)的表面部分(224)限界的基底侧，其中，所述至少一个线接收体积(220、230)沿着与所述

专利地区：美国