具有改良的性能的切削液专利登记公告
专利名称:具有改良的性能的切削液
摘要:包含用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇的切削液有利于用线状锯切割半导体晶体。
专利类型:发明专利
专利号:CN200980161987.2
专利申请(专利权)人:陶氏环球技术有限责任公司
专利发明(设计)人:于旺林;D·A·阿奎拉;J·B·卡斯伯特;Y-P·朱
主权项:一种用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇。
专利地区:美国
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