涡轮分子泵及转子的制造方法专利登记公告

专利名称：涡轮分子泵及转子的制造方法

摘要：本发明提供涡轮分子泵及涡轮分子泵的转子的制造方法。该涡轮分子泵具有：转子(4)，其形成有多层旋转叶轮(19)；多层固定叶轮(21)；泵壳体(7)，其用于容纳转子(4)及多层固定叶轮(21)，且该泵壳体(7)形成有泵进气口(7a)；将转子(4)的面向进气口的表面设为第1辐射系数，将由旋转叶轮(19)及固定叶轮(21)构成的多个叶轮层内的、能够从进气口看到的叶轮层的表面设为第1辐射系数，将多个叶轮层内的、未能从进气口看到的叶轮层表面设为大于第1辐射系数的第2辐射系数。

专利类型：发明专利

专利号：CN200980162169.4

专利申请（专利权）人：株式会社岛津制作所

专利发明（设计）人：筒井慎吾

主权项：一种涡轮分子泵，其特征在于，该涡轮分子泵包括：转子，其形成有多层旋转叶轮；多层固定叶轮；泵壳体，其用于容纳上述转子及上述多层固定叶轮，且该泵壳体形成有泵进气口；将上述转子的面向上述进气口的表面设为第1辐射系数，将由上述旋转叶轮及固定叶轮构成的多个叶轮层内的、能够从上述进气口看到的叶轮层表面设为上述第1辐射系数，将上述多个叶轮层内的、未能从上述进气口看到的叶轮层表面设为大于上述第1辐射系数的第2辐射系数。

专利地区：日本