超晶格结构的纳米晶Cr2N/非晶WC超硬膜及其制备方法专利登记公告
专利名称:超晶格结构的纳米晶Cr2N/非晶WC超硬膜及其制备方法
摘要:本发明提供一种超晶格结构的纳米晶Cr2N/非晶WC超硬膜及其制备方法,属于材料表面技术领域。本发明该超硬膜是由电弧离子镀的纳米晶体相Cr2N和磁控溅射镀的非晶体相WC层交替沉积而成,并且,超晶格的调制周期为10~20nm,Cr2N单层和WC单层的厚度分别为8~14nm和2~6nm。本发明的优点在于:Cr2N层与WC层交替分布实现了Cr-N基膜成分多元化和结构多层化,解决了抗氧化性较强的Cr-N基膜获得超高硬度的难题,同时非晶WC层进一步提高了Cr-N基膜的抗氧化和耐腐蚀性能,满足不能热处理的各类产品的表面
专利类型:发明专利
专利号:CN201010103701.X
专利申请(专利权)人:安徽工业大学
专利发明(设计)人:张世宏;李明喜
主权项:一种超晶格结构的纳米晶Cr2N/非晶WC超硬膜,其特征在于该超硬膜是由电弧离子镀的纳米晶体相Cr2N和磁控溅射镀的非晶体相WC层交替沉积而成,并且,超晶格的调制周期为10~20nm,Cr2N单层和WC单层的厚度分别为8~14nm和2~6nm。
专利地区:安徽
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