微机电系统互连引脚及其形成方法专利登记公告

专利名称：微机电系统互连引脚及其形成方法

摘要：本发明是一种微机电系统(Micro－Electro－Mechanical－System；MEMS)互连引脚及其形成方法，该微机电系统互连引脚形成于牺牲层上，所述牺牲层形成于导电层和基板上。所述MEMS互连引脚具有附连到框架上的引脚基座，所述框架直接接触导电层。然后至少部分地移除牺牲层，以使所述MEMS互连引脚与基板分离。在一实施例中，所述MEMS互连引脚具有引脚基座、自引脚基座的两个不同的表面延伸出的两个弹簧、以及附连到各弹簧的尖端部。所述尖端部包括一个或多个接触尖端以接触导电物体。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010120962.2

专利申请（专利权）人：稳银科技股份有限公司

专利发明（设计）人：徐曾洋

主权项：一种用于形成微机电系统互连引脚的方法，其特征在于，所述方法包括：在基板上形成导电层；在所述导电层上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成所述微机电系统互连引脚，所述微机电系统互连引脚具有附连到框架上的引脚基座，所述框架直接接触所述导电层；以及至少部分地移除所述牺牲层，以使所述微机电系统互连引脚从所述基板分离。

专利地区：中国