一种太阳能硅片的表面清洗方法专利登记公告

专利名称：一种太阳能硅片的表面清洗方法

摘要：本发明涉及一种太阳能硅片的表面清洗方法，该方法在晶棒切成太阳能硅片并经脱胶后，先在浓度为1～3％的氢氟酸溶液中浸泡，接着采用纯水漂洗，接着放在浓度为1～3％的柠檬酸溶液中并导入纯净压缩空气边鼓泡边浸泡，然后又采用纯水漂洗，之后又在浓度为1～3％的硅片清洗剂中采用超声波清洗，接着再经多次纯水超声波漂洗后，最后放入温度保持在45～70℃的纯水中并采用超声波清洗即可。采用本发明方法，由于采用了酸液浸泡，并导入纯净压缩空气鼓泡，使太阳能硅片表面的金属粘污物及切割溶液迅速分解剥离，大大增加了硅片表面清洁度，从而提高

专利类型：发明专利

专利号：CN201010129811.3

专利申请（专利权）人：浙江矽盛电子有限公司

专利发明（设计）人：郜勇军;方建和;柴宏峰

主权项：一种太阳能硅片的表面清洗方法，其特征在于在晶棒切成太阳能硅片并经脱胶后，先在浓度为1～3％的氢氟酸溶液中浸泡，接着采用纯水漂洗，接着放在浓度为1～3％的柠檬酸溶液中并导入纯净压缩空气边鼓泡边浸泡，然后又采用纯水漂洗，之后又在浓度为1～3％的硅片清洗剂中采用超声波清洗，接着再经多次纯水超声波漂洗后，最后放入温度保持在45～70℃的纯水中并采用超声波清洗即可。

专利地区：浙江