软磁壳强电磁场增强电感耦合等离子体发生装置专利登记公告

专利名称：软磁壳强电磁场增强电感耦合等离子体发生装置

摘要：一种软磁壳强电磁场增强电感耦合等离子体发生装置，主要由射频感应线圈4、带有内环形间隙的软磁壳5、产生约束磁场的激磁铜线圈6、进气管道1、外壳2、工件台3、真空获得系统7、真空测量系统和控制系统等组成，带有内环形间隙的软磁壳5可使产生约束磁场的激磁铜线圈6激磁产生的磁力线集中在软磁壳5内环形间隙附近，等离子体发生器中心区域的磁感应强度显著增强，大大延长带电粒子的运动轨迹，明显增加带电粒子与气体分子的碰撞次数，从而可以在较低的气压下获得高密度的等离子体、提高等离子体密度和改善等离子体的分布。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010132922.X

专利申请（专利权）人：中国地质大学(北京)

专利发明（设计）人：付志强;王成彪;岳文;张伟;彭志坚;于翔

主权项：一种软磁壳强电磁场增强电感耦合等离子体发生装置，其特征在于：所述电感耦合等离子体发生装置主要由射频感应线圈4、带有内环形间隙的软磁壳5、产生约束磁场的激磁铜线圈6、进气管道1、外壳2、工件台3、真空获得系统7、真空测量系统和控制系统等组成。带有内环形间隙的软磁壳5使产生约束磁场的激磁铜线圈6激磁产生的磁力线集中在软磁壳5内环形间隙附近，等离子体发生器中心区域的磁感应强度显著增强，大大延长带电粒子的运动轨迹，明显增加带电粒子与气体分子的碰撞次数，从而可以在较低的气压下获得高密度的等离子体、提高等离子体密度和

专利地区：北京