硅片切割废砂浆的回收处理方法专利登记公告

专利名称：硅片切割废砂浆的回收处理方法

摘要：本发明涉及一种硅片切割废砂浆的回收处理方法。包括如下步骤：①分离硅片切割废砂浆中的固液成分；②进一步回收固体中残留的切割液成分；③水流浮选分离硅粉、碳化硅；④回收硅粉；⑤回收碳化硅；⑥将回收的切割液进行粗滤、精滤、脱色、真空蒸馏脱水，添加相应量的组分进行二级过滤后。本发明回收产物种类多，包括碳化硅微粉、切割液、硅粉，回收率高，回收效益高，可节省砂浆成本至少40％；同时有效地解决了单一回收可能造成二次污染问题；回收处理后的碳化硅微粉重新恢复切割功能，变废为宝，实现了真正意义上的资源再利用，可促进循环经济的发

专利类型：发明专利

专利号：CN201010138035.3

专利申请（专利权）人：河南新大新材料股份有限公司

专利发明（设计）人：罗小军;宋贺臣;姜维海

主权项：一种硅片切割废砂浆的回收处理方法，包括如下步骤：(1)固液分离调节硅片切割废砂浆温度至20℃～100℃，降低其粘度后，再采用离心设备对废砂浆进行固、液分离；(2)固体中残留切割液回收将上步分离所得固体添水造浆后采用刮刀离心机分离，过滤液体，并进行多级浓缩，使液体中水分含量降低至10％以下；(3)碳化硅和硅粉分离将上步分离出的固体物料加水造浆，使其质量浓度为20～40％，并按固体质量的0.01％～0.1％向浆料中添加浮选油，便于碳化硅和硅粉分离，将上述浆料打入水力分级装置，持续鼓入空气气流充分搅拌1～3小时

专利地区：河南