用机器人服务等离子体处理系统的方法专利登记公告

专利名称：用机器人服务等离子体处理系统的方法

摘要：公开了一种用于对包括对接端口的等离子体处理系统执行一组服务程序的机器人装置。该装置包括平台和连接到平台的对接探针，其中，对接探针被配置为与对接端口对接。该装置还包括连接到平台的机械手臂，和连接到机械手臂的工具，并且该机械手臂还被配置为充分执行一组服务程序。该装置还包括连接到平台的计算机，其中，该计算机还被配置为执行一组服务程序，以及其中，当对接探针对接到对接端口时，由该工具执行一组服务程序。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010143239.6

专利申请（专利权）人：朗姆研究公司

专利发明（设计）人：安德鲁三世·D·贝利

主权项：一种用于服务等离子体处理系统的方法，该等离子体处理系统至少包括等离子体室，该等离子室至少包括顶部部件和底部部件，该顶部部件置于该底部部件上方，该方法包含：使用机器人设备以控制提升机构从该底部部件提升该顶部部件；根据第一组服务程序，将该机器人设备的第一元件伸入该顶部部件中以执行第一组任务；以及根据第二组服务程序，将该机器人设备的第二元件伸入该底部部件中以执行第二组任务。

专利地区：美国