衬底贴合设备和方法专利登记公告
专利名称:衬底贴合设备和方法
摘要:一种衬底贴合设备,包括:第一室,第一室包括第一表面板,在第一表面板上接收第一衬底;表面板升降机,用于升起第一表面板;第二室,第二室包括第二表面板,在第二表面板上接收待贴合于第一衬底的第二衬底;至少一处胶粘剂,包含于第一表面板用来附着到第一衬底;以及胶粘剂升降机,用于独立地升起胶粘剂。
专利类型:发明专利
专利号:CN201010144626.1
专利申请(专利权)人:爱德牌工程有限公司
专利发明(设计)人:黄载锡;黄甫成权
主权项:一种衬底卡盘,包括:表面板,包括用于附着衬底的胶粘剂;以及分离单元,设置在所述表面板上,用来使所述衬底从所述表面板分离。
专利地区:韩国
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