用于附着基板的设备及其间隙控制单元专利登记公告

专利名称：用于附着基板的设备及其间隙控制单元

摘要：本发明公开了一种用于附着基板的设备，该设备包括用于支撑第一基板的第一腔室以及用于支撑第二基板的第二腔室。主密封件设置于第一腔室与第二腔室之间以保持腔室之间的密封和间隙。对准控制部设置于第一腔室与第二腔室之间以便保持密封，并且还使第二腔室相对于第一腔室移动以对准基板。该对准控制部还可控制腔室之间的间隙，从而保持基板之间的均匀间隙。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010144632.7

专利申请（专利权）人：爱德牌工程有限公司

专利发明（设计）人：崔凤焕;沈锡希

主权项：一种用于附着基板的设备，所述设备包括：第一腔室；第二腔室，所述第一腔室和所述第二腔室可以合在一起以形成密封附着空间；上板，位于所述第一腔室和所述第二腔室之间；下板，位于所述上板和所述第二腔室之间；主密封件，能够保持所述上板和所述第一腔室之间的密封；第二密封件，能够保持所述上板与所述下板之间的密封；以及辅助密封件，能够保持所述下板与所述第二腔室之间的密封。

专利地区：韩国