基板收纳容器专利登记公告

专利名称：基板收纳容器

摘要：本发明提供一种可以将容器主体和盖体之间适当密封、抑制气体等进入容器主体内而污染基板的基板收纳容器。包括收纳由半导体晶片构成的基板的容器主体(1)、装卸自如地嵌入容器主体(1)的开口正面部(7)的盖体(20)、将容器主体(1)和盖体(20)之间密封的可压缩变形的垫圈(30)，在容器主体(1)的开口正面部(7)内周形成垫圈(30)用的密封面(11)，使密封面的平坦度的最大值与最小值之差小于0.50mm，并在盖体(20)上形成框形的垫圈(30)用装配部(22)。此外，垫圈(30)由安装于装配部(22)上的基体(

专利类型：发明专利

专利号：CN201010166075.9

专利申请（专利权）人：信越聚合物株式会社

专利发明（设计）人：佐佐木茂伸;大堀伸一;山岸裕树

主权项：一种基板收纳容器，包括由成形材料成形并收纳基板的前开口盒式的容器主体、嵌入该容器主体的正面的开口部的盖体、将容器主体的开口部和盖体之间密封的能压缩变形的垫圈，其特征在于，使容器主体的开口部向其宽度方向外侧伸出而形成框缘部，将该框缘部的内表面形成为垫圈用的密封面，在容器主体上形成指向框缘部方向的增强肋，减小增强肋中与容器主体框缘部对置的对置部的壁厚来抑制容器主体成形时在框缘部的密封面上产生凹陷。

专利地区：日本