高速多级透平真空泵及其抽真空方法专利登记公告

专利名称：高速多级透平真空泵及其抽真空方法

摘要：本发明公开了一种高速多级透平真空泵及其抽真空方法，属于透平真空泵技术领域，通过多级高速离心叶轮实现了多工艺点、不同真空度的抽取，其驱动电机通过齿轮增速箱升速后与主轴连接，主轴支承悬架于机壳内，在主轴上同向串接设置一组离心叶轮，末级离心叶轮外侧配合设置平衡盘，各级离心叶轮与机壳之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个连通，机壳上相应设置一组吸入口和一个排出口，平衡盘与机壳之间构成平衡腔，机壳上配合设置将平衡腔与各吸入口连通的平衡管；采用了单轴多级抽取结构，使得单机既能实现多个工艺点、多级真空度的同时

专利类型：发明专利

专利号：CN201010167688.4

专利申请（专利权）人：杭州振兴工业泵制造有限公司

专利发明（设计）人：温建新;童小龙;李月仙;倪建军;郁园赞;涂江波;杨媛媛;陈杰

主权项：高速多级透平真空泵，其特征在于包括机壳(16)及配合连接的驱动电机(1)、齿轮增速箱(3)，齿轮增速箱(3)采用单级增速，其输入端与驱动电机(1)传动连接，输出端与主轴(4)前端传动连接，主轴(4)通过安装于机壳(16)两端的前轴承座(5)、后轴承座(5a)内的径向滑动轴承(14a、14)支承悬架于机壳(16)内，机壳(16)内的主轴(4)上按一定间距同向串接设置一组离心叶轮(7)，末级离心叶轮(7)外侧配合设置平衡盘(8)，各级离心叶轮(7)与机壳(16)之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个

专利地区：浙江