一种金属-类金刚石(Me-DLC)纳米复合膜及其制备方法专利登记公告

专利名称：一种金属-类金刚石(Me-DLC)纳米复合膜及其制备方法

摘要：一种金属-类金刚石纳米复合膜，其特征是依次由基材(1)、金属过渡层(2)、金属氮化物过渡层(3)、金属碳化物过渡层(4)和掺金属类金刚石层(5)构成。其制备方法采用Ti、Cr或W靶，依次轰击清洗基材，沉积金属层，金属氮化物层，金属碳化物层和沉积掺金属类金刚石层。本发明提供的金属-类金刚石纳米复合膜具有低的摩擦系数，高的耐磨性，良好的耐腐蚀性和生物相容性以及颜色均匀一致性。本发明的金属-类金刚石(Me-DLC)纳米复合膜适合用于手表壳体、饰物、工艺品等的表面涂层。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010168336.0

专利申请（专利权）人：广州有色金属研究院

专利发明（设计）人：林松盛;代明江;侯惠君;李福球;朱霞高

主权项：一种金属-类金刚石纳米复合膜，其特征是依次由基材(1)、金属过渡层(2)、金属氮化物过渡层(3)、金属碳化物过渡层(4)和掺金属类金刚石层(5)构成。

专利地区：广东