一种复合薄膜气敏传感器的制作方法专利登记公告

专利名称：一种复合薄膜气敏传感器的制作方法

摘要：本发明涉及气敏传感器制造技术领域，特别是一种复合薄膜气敏传感器的制作方法，其特征在于：包含以下步骤：1、对MWCNT进行酸处理，而后将MWCNT添加并分散到有机溶剂中，处理得到充分混合的悬浊液，再将其分别旋涂到射频反应磁控溅射设备的锡靶和钨靶上；2、在硅片或陶瓷管上制作传感器的加热器和叉指电极；3、使用射频反应磁控溅射技术，在叉指电极区溅射一层SnO2-MWCNT薄膜，并在SnO2-MWCNT薄膜上再溅射一层WO3-MWCNT薄膜，形成复合薄膜；4、将附着薄膜的硅片或陶瓷管在高温炉内烧结；5、将硅片或陶瓷

专利类型：发明专利

专利号：CN201010189962.8

专利申请（专利权）人：福州大学

专利发明（设计）人：林伟;黄世震;黄兆新;陈伟

主权项：一种复合薄膜气敏传感器的制作方法，其特征在于：包含以下步骤：（1）对多壁碳纳米管（MWCNT）进行酸处理，而后将MWCNT添加并分散到有机溶剂中，处理得到充分混合的悬浊液，再将其分别旋涂到射频反应磁控溅射设备的锡靶和钨靶上；（2）在硅片上制作铂金加热器和叉指电极作为传感器的基片；（3）使用射频反应磁控溅射技术，在叉指电极区溅射一层SnO2-MWCNT薄膜，并在SnO2-MWCNT薄膜上再溅射一层WO3-MWCNT薄膜，形成复合薄膜；（4）将附着薄膜的基片在高温炉内烧结；（5）在所述基片上的键合盘和传感器外

专利地区：福建