一种能量传感器的校准方法专利登记公告

专利名称：一种能量传感器的校准方法

摘要：本发明公开了一种能量传感器的离线校准方法，利用参考传感器、第一能量传感器和第二能量传感器测量曝光光强并分别获得参考测量值、第一测量值及第二测量值，利用所述参考测量值作为偏差补偿RLS模型输出，并将优化测量值重新作为所述偏差补偿RLS模型的输出值，以根据所述偏差补偿RLS模型得到所述第一能量传感器与第二能量传感器的优化的增益因子、偏离量及方差，根据所述优化的增益因子、偏离量及方差进一步校准所述第一及第二能量传感器输出值，藉以提升所述第一、第二能量传感器的校准精度。本发明还提供一种能量传感器的在线校准方法。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010567517.0

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：李战斌;马明英

主权项：一种能量传感器的离线校准方法，用于对光刻机上测量曝光光强的能量传感器进行校准，所述方法包括：利用参考传感器、第一能量传感器和第二能量传感器测量所述曝光光强并分别获得参考测量值、第一测量值及第二测量值；以所述参考测量值作为一偏差补偿RLS模型的输出值，以所述第一、第二测量值作为所述偏差补偿RLS模型的状态量，根据所述偏差补偿RLS模型得到所述第一能量传感器与第二能量传感器的增益因子、偏离量及方差，并根据所述增益因子、偏离量及方差校准所述第一及第二能量传感器的输出值；以及以所述校准第一及第二能量传感器的输出值

专利地区：上海