一种生产电子级氟化铵水溶液的方法专利登记公告
专利名称：一种生产电子级氟化铵水溶液的方法
摘要：本发明涉及一种生产电子级氟化铵水溶液的方法，以工业级液氨为原料，加热释放出氨气，所述氨气通过活性炭吸附除去有机气体杂质，然后脱氧吸附得到高纯氨气；所述高纯氨气用高纯氢氟酸吸收反应得到产品电子级氟化铵水溶液。所制得的电子级氟化铵水溶液纯度高，质量稳定，可直接应用于电子产品的生产，本发明生产电子级氟化铵水溶液的方法，操作简单，适于大规模连续化生产。
专利类型：发明专利
专利号：CN201010577191.X
专利申请（专利权）人：上海华谊微电子材料有限公司
专利发明（设计）人：詹家荣;周励
主权项：一种生产电子级氟化铵水溶液的方法，其特征在于，步骤如下：将工业级液氨加热至30~50℃产生氨气，使氨气通过活性炭吸附除去有机气体杂质，再进行吸附脱氧得到高纯氨气；所述高纯氨气用高纯氢氟酸吸收，制得氟化铵水溶液。
专利地区：上海
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