连续化生产超纯过氧化氢的方法专利登记公告

专利名称：连续化生产超纯过氧化氢的方法

摘要：本发明涉及一种连续化生产超纯电子级过氧化氢的方法，采用工业级过氧化氢为原料经过大孔吸附树脂预处理，通过阳离子交换树脂、阴离子交换树脂进行第一级离子交换；之后进入多级阴阳离子混合交换树脂柱，最后超细过滤，得到超纯过氧化氢。本发明安全性好，操作简单，产品质量稳定，适于大规模连续化生产。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010577193.9

专利申请（专利权）人：上海华谊微电子材料有限公司

专利发明（设计）人：汤慧;詹家荣

主权项：一种连续化生产超纯过氧化氢的方法，其特征在于，步骤如下：过氧化氢原料通过大孔吸附树脂进行接触处理，将过氧化氢原料中有机杂质(以有机碳计)含量控制在≤20ppm；冷却后依次进入阳离子交换树脂柱、阴离子交换树脂柱、以及两级阴阳离子交换树脂混合柱，最后通过全氟材料膜超细过滤器得到超纯过氧化氢；其中，上述生产过程温度控制在5~20℃，所述大孔吸附树脂和离子交换树脂柱内壁衬有氟树脂并配有氟树脂内件。

专利地区：上海