等离子体离子源的发生装置专利登记公告
专利名称:等离子体离子源的发生装置
摘要:一种应用于质谱仪的等离子体离子源的发生装置,包括:等离子体发生腔体,包括作为等离子体发生区的腔室;高压射频源,包括电源以及设于所述等离子体发生腔体外表面的射频电极;与所述等离子体发生腔体相通的传输结构,用于将样品气体和载气引入到所述等离子体发生腔体中;密封件,用于密封所述传输结构与所述等离子体发生腔体之间的连通,为所述等离子体发生腔体提供真空环境。相较于现有技术,本发明的等离子体离子源的发生装置,利用等离子体发生腔体,在低真空环境下可以产生出高密度的等离子体离子源。
专利类型:发明专利
专利号:CN201010579490.7
专利申请(专利权)人:上海华质生物技术有限公司
专利发明(设计)人:陈应;徐国宾;杨芃原
主权项:一种等离子体离子源的发生装置,应用于质谱仪中,其特征在于,所述发生装置包括:等离子体发生腔体,包括作为等离子体发生区的腔室;高压射频源,包括电源以及设于所述等离子体发生腔体外表面的射频电极;与所述等离子体发生腔体相通的传输结构,用于将样品气体和载气引入到所述等离子体发生腔体中;密封件,用于密封所述传输结构与所述等离子体发生腔体之间的连通,为所述等离子体发生腔体提供真空环境。
专利地区:上海
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