工艺数据采集方法、装置及系统专利登记公告

专利名称：工艺数据采集方法、装置及系统

摘要：本发明提供了一种工艺数据采集方法、装置及系统，以解决现有技术中进行单个数据采集和传输降低了采集效率的问题。所述方法包括：接收批量数据采集请求；获取所述请求中数据采集列表标识信息对应的数据采集列表，所述数据采集列表中包含多个工艺数据类型标识信息；遍历所述数据采集列表中的各工艺数据类型标识信息，逐个采集各工艺数据类型标识信息对应的工艺数据，并进行保存；当所述数据采集列表中所有工艺数据类型标识信息对应的工艺数据都采集完毕并保存后，将所有工艺数据批量返回。本发明的技术方案减少了下位机控制系统与数据采集控制系统之间

专利类型：发明专利

专利号：CN201010582567.6

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：高伟勃;杨洋;刘振华

主权项：一种工艺数据采集方法，其特征在于，包括：接收批量数据采集请求，所述批量数据采集请求中包含数据采集列表标识信息；获取所述批量数据采集请求中数据采集列表标识信息对应的数据采集列表，所述数据采集列表中包含多个工艺数据类型标识信息；遍历所述数据采集列表中的各工艺数据类型标识信息，逐个采集各工艺数据类型标识信息对应的工艺数据，并将采集到的各工艺数据进行保存；当所述数据采集列表中所有工艺数据类型标识信息对应的工艺数据都采集完毕并保存后，将保存的所有工艺数据批量返回。

专利地区：北京