一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液专利登记公告
专利名称：一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液
摘要：本发明公开了一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液，该抛光液含有水、研磨颗粒、氧化剂和去除速率促进剂；所述促进剂为一种或多种可溶性含钨化合物。本发明通过向抛光液中加入经优选的去除速率促进剂，可在提高GST（锗－锑－碲）合金去除速率的同时保持较低的SiO2去除速率，且使得抛光液对GST材料的静态腐蚀保持在较低的水平。
专利类型：发明专利
专利号：CN201010591176.0
专利申请（专利权）人：安集微电子（上海）有限公司
专利发明（设计）人：庞可亮
主权项：一种用于抛光合金相变材料的化学机械抛光液，其特征在于，包含水、研磨颗粒、氧化剂和去除速率促进剂；所述促进剂至少包括一种或多种可溶性含钨化合物。
专利地区：上海
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