一种高热导率多层SiC单晶微波衰减材料及其制备方法专利登记公告
专利名称:一种高热导率多层SiC单晶微波衰减材料及其制备方法
摘要:一种高热导率多层SiC单晶复合微波衰减材料,由若干层具有高电阻率SiC层与高损耗SiC层交替复合而成,处于最外层的为高电阻率SiC层,其电阻率为104Ωm~108Ωm;高损耗SiC层为掺杂N的SiC层,其电阻率为10-3Ωm~101Ωm,高电阻率SiC层的热导率为250-410W/m·K。本发明采用PVT法,通过在晶体生长过程中周期性地通入不同的气氛,形成交替复合的高电阻率SiC层与高损耗SiC层,高电阻率SiC层作为导热层能将高损耗SiC层吸收微波所产生的热量迅速传递出去,而高损耗SiC层可通过控制生长
专利类型:发明专利
专利号:CN201010597291.9
专利申请(专利权)人:北京有色金属研究总院
专利发明(设计)人:杨志民;毛昌辉;杜军;杨立文;董茜
主权项:一种高热导率多层SiC单晶复合微波衰减材料,其特征在于,由若干层具有高电阻率SiC层与高损耗SiC层交替复合而成,处于最外层的为高电阻率SiC层,其电阻率为104Ωm~108Ωm;高损耗SiC层为掺杂N的SiC层,其电阻率为10?3Ωm~101Ωm。
专利地区:北京
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目,不代表该专利由我公司代理取得,上述专利权利属于专利权人,未经(专利权人)许可,擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利,请搜索专利权人联系方式,获得专利权人的授权许可。