一种恒功率输出磁控溅射镀膜电源专利登记公告

专利名称：一种恒功率输出磁控溅射镀膜电源

摘要：本发明的一种恒功率输出磁控溅射镀膜电源，包括输入整流滤波电路、逆变电路、高频变压器、输出整流滤波电路，所述逆变电路包括串联在输入回路中的第一电感L1和第一电容C1，还包括用于敏感输出电压值和电流值的电压传感器A和电流传感器B、可编程单片机S、工作状态设定与显示检测系统；所述逆变电路还包括电子开关K；本发明恒功率输出磁控溅射镀膜电源采用可编程单片机控制电子开关，根据输出电压与电流的变化不断调整逆变器的脉宽使得电压(有效值)与电流的乘积为定值，从而保证输出功率恒定，避免了现有恒流输出磁控溅射镀膜电源或者恒压输

专利类型：发明专利

专利号：CN201010597641.1

专利申请（专利权）人：西安高度电子科技有限公司

专利发明（设计）人：孙力;张立新

主权项：一种恒功率输出磁控溅射镀膜电源，其特征在于：包括将三相交流电压转变为单相直流电压的输入整流滤波电路、将直流电压转变为中频脉动电压的逆变电路、将逆变器输出的中频脉动电压变换到输出电压值的高频变压器、输出整流滤波电路，所述逆变电路包括串联在输入回路中的第一电感L1和第一电容C1，其特征在于：还包括用于敏感输出电压值和电流值的电压传感器A和电流传感器B、可编程单片机S、工作状态设定与显示检测系统；所述逆变电路还包括电子开关K；电子开关K串接在输入整流滤波电路和逆变电路的第一电感L1之间；电压传感器A和电流传感器

专利地区：陕西