快速热退火方法专利登记公告

专利名称：快速热退火方法

摘要：本发明提供了一种快速热退火方法，该方法至少包括一个快速升温步骤及在所述快速升温步骤之后依次进行的四个缓速升温步骤，所述快速升温步骤的升温速度为45□/秒，所述四个缓速升温步骤的升温速度依次逐渐减小。相较于现有技术的两步升温步骤，本发明是将快速热退火菜单结构更改优化，增加了适当步数的升温步骤，将总体的升温过程进行了截割，逐步降低了升温速度，不易产生温度过热现象，也方便了对整个过程的热预算的计算和比较。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010605225.1

专利申请（专利权）人：无锡华润上华科技有限公司

专利发明（设计）人：周祖源

主权项：一种快速热退火方法，其特征在于：该方法至少包括一个快速升温步骤及在所述快速升温步骤之后依次进行的四个缓速升温步骤，所述快速升温步骤的升温速度为45℃/秒，所述四个缓速升温步骤的升温速度依次逐渐减小。

专利地区：江苏