带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法专利登记公告

专利名称：带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法

摘要：一种带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池及其制造方法，制造方法包括：在电池衬底表面扩散PN结；在所述PN结表面生长本征氧化锌高阻层；在所述本征氧化锌高阻层上制备一层低阻氧化锌薄膜；用稀酸溶液腐蚀所述低阻氧化锌薄膜表面，形成月球坑状的绒面陷光结构；印刷焊点和背场；烧结形成电池片。由于透明导电膜同时可担任正电极，完全克服了传统电池栅线不透明阻挡受光面积的缺点，增大太阳能电池的受光面积。同时透明导电膜替代了传统钝化层，简化了工艺，另外在制绒方面以稀盐酸湿法腐蚀氧化锌，仅需30秒左右，药液的消耗也明显减少，从而

专利类型：发明专利

专利号：CN201010607488.6

专利申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所

专利发明（设计）人：刘金彪;熊文娟;欧文;李俊峰

主权项：一种带绒面导电氧化锌薄膜的晶体硅太阳能电池的制作方法，至少包括以下步骤：在电池衬底表面扩散PN结；在所述PN结表面生长本征氧化锌高阻层；在所述本征氧化锌高阻层上制备一层低阻氧化锌薄膜；用稀酸溶液腐蚀所述低阻氧化锌薄膜表面，形成具有月球坑状的绒面陷光结构的低阻氧化锌绒面薄膜；印刷引线电极和背场；烧结形成电池片。

专利地区：北京