MEMS显示器专利登记公告

专利名称：MEMS显示器

摘要：本发明提供了MEMS显示器，所述MEMS显示器包括相互独立的像素阵列区以及光源，所述像素阵列区包括阵列排布的像素单元，所述光源产生的光束入射像素阵列区后，经过多级光路切换开关路由，从像素单元中出射成像。本发明的MEMS显示器采用二选一的光路切换开关作为光路的路由节点，具有响应灵敏，快速成像显示的特点。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010607808.8

专利申请（专利权）人：上海丽恒光微电子科技有限公司

专利发明（设计）人：毛剑宏;唐德明

主权项：一种MEMS显示器，其特征在于，包括相互独立的像素阵列区以及光源，所述像素阵列区包括阵列排布的像素单元，所述光源产生的光束入射像素阵列区后，经过多级光路切换开关路由，从像素单元中出射成像；所述光切换开关包括：一个输入光路、两个输出光路和光路转换元件，所述光路转换元件将光束选择性地从输入光路路由至其中一个输出光路，所述光路转换元件包括：半导体衬底及其表面的层间介质层；位于层间介质层内的空腔，所述空腔的一端连接输入光路，另一端由隔离层间隔成上空腔以及下空腔，所述上空腔以及下空腔分别连接两个输出光路；位于所述空

专利地区：上海