缺陷量测装置和缺陷量测方法专利登记公告

专利名称：缺陷量测装置和缺陷量测方法

摘要：本发明公开一种缺陷量测装置和缺陷量测方法，该缺陷量测装置包括至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷样品的一第二端；以及一热像仪，用以量测样品的热影像；其中加热源和致冷源用以使得样品的热影像具有温度梯度。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010609535.0

专利申请（专利权）人：财团法人工业技术研究院

专利发明（设计）人：彭保仁;陈政宪;柯心怡;温博浚

主权项：一种缺陷量测装置，包括：至少一加热源，用以均匀地加热一样品的一第一端；至少一致冷源，用以均匀地致冷上述样品的一第二端；以及热像仪，用以量测上述样品的热影像；其中上述加热源和上述致冷源，用以使得上述样品的热影像具有温度梯度。

专利地区：台湾