镀膜件及其制备方法专利登记公告

专利名称：镀膜件及其制备方法

摘要：本发明提供一种镀膜件及该镀膜件的制备方法。该镀膜件包括一基体、依次形成于该基体表面的氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层及抗指纹层，该抗指纹层为氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层，其中0＜x＜2.5，0＜y＜5。一种镀膜件的制备方法，其包括如下步骤：提供一基体；以镁铝合金靶为靶材，以氧气为反应气体，采用磁控溅射镀膜法在该基体的表面溅镀氧化镁-氧化铝(MgO-Al2O3)的混合物层；以镁铝合金靶为靶材，以氧气、四氟化碳气体为反应气体，采用磁控溅射镀膜法在该MgO-Al2O3的混合物层的表面制备一氟化

专利类型：发明专利

专利号：CN201010612741.7

专利申请（专利权）人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

专利发明（设计）人：张新倍;陈文荣;蒋焕梧;陈正士;李聪

主权项：一种镀膜件，其包括一基体，其特征在于：该镀膜件还包括依次形成于基体表面的氧化镁?氧化铝(MgO?Al2O3)的混合物层及抗指纹层，该抗指纹层为氟化镁铝氧(MgAlOxFy)层，其中0＜x＜2.5，0＜y＜5。

专利地区：广东