一种提高连续制备YBCO带材临界电流的方法专利登记公告
专利名称:一种提高连续制备YBCO带材临界电流的方法
摘要:一种提高连续制备YBCO带材临界电流的方法,包括:(1)在连续制备YBCO超导层的设备的真空腔体中,将金属基带固定在引带上;(2)以YBCO为靶材,靶基距为40~60mm;(3)在抽真空前调整激光光路;(4)真空腔体内的真空度优于3×10-4Pa,将金属基带加热750~770℃;并控制纯氧气氛为20-30Pa;(5)先以激光频率为10~20Hz,走带速率为0.1~0.4mm/s,沉积第一层YBCO薄膜,再沉积多层YBCO薄膜,每沉积下一层YBCO薄膜都分别将沉积上一层YBCO薄膜时的金属基带的温度提高10
专利类型:发明专利
专利号:CN201010614274.1
专利申请(专利权)人:北京有色金属研究总院
专利发明(设计)人:杨坚;张华
主权项:一种提高连续制备YBCO带材临界电流的方法,其特征在于:该方法包括下述步骤:(1)、在连续制备YBCO超导层的设备的真空腔体中,将带有隔离层的金属基带固定在不锈钢引带上,再将不锈钢引带固定在走带系统上;(2)、以YBCO为靶材,靶材和金属基带的距离为40~60mm;(3)、在真空腔体中,采用脉冲激光沉积设备并在抽真空前调整激光光路,使激光聚焦于靶材的靶位,并位于金属基带正下方;(4)、抽真空至真空腔体内的真空度优于3×10?4Pa,且将金属基带加热至750?770℃并保持;再向真空腔体内通入氧气,并控制纯
专利地区:北京
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