化学机械研磨装置专利登记公告

专利名称：化学机械研磨装置

摘要：一种化学机械研磨装置，包括：研磨盘，所述研磨盘用于承载所提供的晶圆；研磨垫手臂，所述研磨垫手臂一端固定；研磨垫，所述研磨垫固定于所述研磨垫手臂的非固定端，并且可以在研磨垫手臂的带动下，相对于所提供的晶圆运动，研磨垫手臂确定运动期间该研磨垫与所提供的晶圆接触；研浆供应路线，所述研浆供应路线在研磨期间在研磨垫与被研磨晶圆之间供应研浆；研磨检测装置，研磨期间，所述研磨检测装置同步检测整个晶圆的研磨状态。利用本发明所提供的化学机械研磨装置可以提高研磨检测的同步性。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010616629.0

专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

专利发明（设计）人：蒋莉;黎铭琦

主权项：一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述化学机械研磨装置包括：研磨盘，所述研磨盘用于承载所提供的晶圆；研磨垫手臂，所述研磨垫手臂一端固定；研磨垫，所述研磨垫固定于所述研磨垫手臂的非固定端，并且可以在研磨垫手臂的带动下，相对于所提供的晶圆运动，研磨垫手臂确定运动期间该研磨垫与所提供的晶圆接触；研浆供应路线，所述研浆供应路线在研磨期间在研磨垫与被研磨晶圆之间供应研浆；研磨检测装置，研磨期间，所述研磨检测装置同步检测整个晶圆的研磨状态。

专利地区：上海