硅片机械手专利登记公告

专利名称：硅片机械手

摘要：本发明提供一种硅片机械手，所述硅片机械手包括：基座板、驱动机构、传动机构和用以承接硅片的承接板，所述驱动机构和传动机构固定于所述基座板上，所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述承接板，所述传动机构穿过所述驱动机构的中心位置。通过本发明提供的硅片机械手，所述传动结构和驱动机构的出力方向一致，避免了驱动力的损耗，提高了传动效率。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010618308.4

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司

专利发明（设计）人：范哲光;黎刚生;齐芊枫;郑椰琴

主权项：一种硅片机械手，包括：基座板、驱动机构、传动机构和用以承接硅片的承接板，所述驱动机构和传动机构固定于所述基座板上，所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述承接板，其特征在于，所述传动机构穿过所述驱动机构的中心位置。

专利地区：上海