一种光学元件固定装置及其安装方法专利登记公告

专利名称：一种光学元件固定装置及其安装方法

摘要：本发明提供一种光学元件固定装置及其安装方法，包括：镜座，所述镜座内壁以等间隔设有至少三个凹槽；柔性元件，匹配安装于所述凹槽内；球销，以连接所述柔性元件和镜座。本发明通过控制球销和对应锥形套之间的摩擦系数及过渡配合方式，圆柱销和对应锥形套之间的摩擦系数及过渡配合方式，从而控制所述固定装置径向力，达到控制光学元件或光机组件由于热变形和装配应力变形对光学元件的面型影响；通过采用柔性元件多点胶结支撑结构，达到减小重力对面型的影响，同时，利用柔性元件在垂直光轴方向的低刚度特点，实现环光学元件圆周方向的热应力的释放；

专利类型：发明专利

专利号：CN201010618427.X

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：王洪尊;储兆祥;彭云平

主权项：一种光学元件固定装置，包括：镜座，为匹配所述光学元件的空心结构，所述镜座内侧壁以等间隔设有至少三个凹槽，所述凹槽中部对应的镜座侧壁上设有通孔；柔性元件，匹配安装于所述凹槽内，包括末端支撑件和连接于末端支撑件两端的转接支承座，所述末端支撑件中部设有开孔；其特征在于，还包括球销，安装于所述镜座的通孔和所述末端支撑件的开孔上，以连接所述柔性元件和镜座，所述球销外表面与设置在所述开孔内的第一摩擦系数膜层接触。

专利地区：上海