一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法专利登记公告

专利名称：一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法

摘要：本发明提供一种提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法，所述实现装置包括：内壳，其内部为所述目标空间，所述目标空间中填充有第一介质；外壳，包围在所述内壳外部，与所述内壳之间形成环形空间，所述环形空间中填充有第二介质；静压腔体，设置于所述外壳的一端；过滤器，设置于所述外壳与所述静压腔体之间，所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。本发明所述提高目标空间温度稳定性的实现装置及方法，应用于干涉仪等需要高温度稳定性的装置，可以实现长时间的高温度稳定性。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010618443.9

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：杨志斌;束剑平;张洪博;赵滨;江家玮

主权项：一种提高目标空间温度稳定性的实现装置，其特征在于，包括：内壳，其内部为所述目标空间，所述目标空间中填充有第一介质；外壳，包围在所述内壳外部，与所述内壳之间形成环形空间，所述环形空间中填充有第二介质；静压腔体，设置于所述外壳的一端；过滤器，设置于所述外壳与所述静压腔体之间，所述静压腔体、过滤器及外壳三者连通。

专利地区：上海